深圳MEMS产业发展白皮书

（一）MEMS的定义

      微机电系统（Micro Electro-Mechanical System，简称MEMS），是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的电子机械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和适于大批量生产、多学科交叉等特征。

（二）MEMS器件分类

MEMS器件根据其技术原理可分为四类：传感MEMS、生物MEMS、光学MEMS和射频MEMS。

      MEMS整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。MEMS产业链的上游负责MEMS器件设计、材料和生产设备供应，中游生产制造出MEMS器件，下游使用MEMS器件制造终端电子产品。

（一）全球市场格局

1.全球MEMS行业市场规模保持稳定增长。

       据IC Insights统计，2019年全球MEMS产业市场销售额超140亿美元，同比增长10%，预计未来几年全球MEMS市场将以15%的年复合增长率增长，到2023年市场规模突破200亿美元。

2.细分领域呈现寡头垄断的分布格局。

据Yole Development公布的2018年全球MEMS元件厂商TOP30企业榜单，TOP30企业的总销售额高达103亿美元（占全行业81%）。其中，美国排名前30的厂商有12家，市场份额占比45.63%，主要包括RF MEMS、压力传感器、惯性传感器、温湿传感器、MEMS麦克风等细分领域；日本排名前30的厂商有10家，市场份额占比18.97%，主要包括图像传感器、继电器、喷墨打印头、压力传感器等领域；而中国只有歌尔和瑞声两家企业上榜，主要生产MEMS麦克风。

3.欧美MEMS代工厂具有压倒性优势。

据Yole Development 发布的2018年全球MEMS代工厂发展报告，提供MEMS代工的IDM厂商主要有ST、索尼、TI等，台积电MEMS代工业务也排在前列。从MEMS代工业务规模来看，TOP1为美国的ST，每2台手机中就有1颗ST MEMS传感器，其开展MEMS代工业务已有20余年。TOP2为加拿大的Teledyne DALSA，是全球最大的纯MEMS 代工厂。TOP4是中国耐威科技控股公司Silex Microsystems AB，在纯MEMS代工厂中排名第二。

（二）国内市场格局

1.中国成全球MEMS市场增长最快地区。

近年来，受益于消费电子类产品，如智能手机、平板电脑等产量保持稳定增长，带动加速传感器、陀螺仪、硅麦克风等MEMS行业需求的增长，中国成为全球MEMS市场发展最快的地区。据赛迪智库统计，2018年中国MEMS整体市场规模达到504.3亿元，预计到2021年将达到851.1亿元。

2.长三角是我国MEMS产业发展主阵地。

据中国信通院统计数据，2018年我国MEMS传感器制造企业大约有200家，主要集中在长三角地区，占比超60%，其中江苏省占比接近30%。主要得益于长三角良好的集成电路产业基础，硅基MEMS研发及代工生产线资源较多，产业链配套较完善。

1.深圳市MEMS下游应用市场规模全国最大。

MEMS传感器作为手机、电脑、智能穿戴、无人机、机器人等各类智能产品必备的核心零部件，是电子信息行业众多制造企业生存和发展的根本。深圳作为世界级的电子信息产业基地，在汽车电子、智能手机、智能穿戴、生物医疗、机器人、AR/VR、无人机、卫星及工业互联网等领域拥有大批国内外知名的厂商，对各类MEMS传感器存在巨大市场需求量。

深圳市相关MEMS传感器下游应用企业

2.深圳市MEMS产业总体呈现“小而精”的特征。

据不完全统计，目前深圳市范围内研发、制造生产MEMS传感器的相关企业共计62家，其中上市公司13家，南山区和宝安区占比超半数。既有瑞声声学、精量电子等技术积累雄厚的老牌企业，也不乏速腾聚创、镭神智能等拥有强大研发实力的后起之秀，产品涉及范围十分广泛，涵盖航空航天、能源、医疗、交通、民生等领域。深圳的MEMS产业总体上呈现“小而精”的特点，多个细分领域拥有一批国内外具有一定影响力的科技创新型企业，但企业的规模普遍较小。

深圳市MEMS细分领域重点企业

3.深圳市MEMS产业链制造短板凸显。

目前，中国的MEMS中试、代工及IDM生产线主要分布在长三角地区。深圳乃至粤港澳大湾区尚无一条可以满足多种MEMS产品制造、封装、测试需求的晶圆生产线，无法满足设计企业、研究机构开发新产品的加工试制、测试需要，造成本地MEMS产业生态圈失衡。据多家本地企业反映，其主要到苏州、上海等地寻求晶圆代工服务进行产品中试验证。此外，由于深圳市在MEMS制造环节的配套不完善，企业从战略布局的角度考虑可能不会优先选择落地深圳。

国内MEMS晶圆产线分布情况

1.突破共性核心技术，抢占战略发展制高点。

重点围绕MEMS惯导组件、车规级MEMS激光雷达、工业级MEMS压电及力学传感器等高精度、高可靠性核心器件的共性通用技术，实施一批重大核心技术攻关专项，力争取得一批产业带动性强、自主可控的重大原创科技成果和自主知识产权，抢占MEMS产业高端价值链。

2.建立MEMS中试平台，助力企业提速发展。

以政府为主导搭建MEMS中试平台，围绕射频、压电、光学MEMS器件开展特色制造工艺的研发和中试，为广大中小企业开发新产品提供工艺技术开发、流片试制、中试验证、检测评估等公共服务，加速MEMS器件全流程研发创新，补齐制造短板，构建大湾区MEMS产业创新生态圈，促进MEMS产业高端化发展。

3.面向全球“靶向引才”，构筑创新人才高地。

      设立MEMS行业稀缺人才特殊奖励政策，主动面向全球MEMS行业领军企业、研究机构和高校引进一批拥有丰富制造生产经验和先进工艺开发能力的顶级技术专家及工程师，助于本地MEMS企业迅速提升设计能力和工艺水平。同时，依托MEMS中试平台开展国际研发项目合作、共建联合实验室，培养一批MEMS领军人才，加强后备人才队伍建设。引进和培育“两手抓”，构建国际一流人才高地，激发创新活力。