智能装备 智慧领域 上海微电子装备获得2020年度上海科技进步二等奖
5月25日，2020年度上海市科学技术奖公布，上海微电子装备“高性能双脉冲激光退火设备研发与IGBT生产应用”获得2020年度上海市科技进步二等奖。
2021-05-28 19:36:44 |
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5月25日，2020年度上海市科学技术奖公布，上海微电子装备“高性能双脉冲激光退火设备研发与IGBT生产应用”获得2020年度上海市科技进步二等奖。
2021-05-28 19:36:44
7月15日，由国家知识产权局和世界知识产权组织共同评选的第二十一届中国专利奖正式发布授奖决定，上海微电子公司发明专利“一种步进光刻设备及光刻曝光方法（ZL201110241791.3）”荣获第二十一届中国专利优秀奖，这也是上海微电子公司获得的第九项中国专利优秀奖。
2020-08-28 09:18:06
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