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公司发展至今已有三个事业部：成套半导体装备事业部、零部件事业部、气体及工程事业部。成套半导体装备事业部和零部件事业部目前主要对微电子所微电子设备技术研究室研发成熟的产品进行销售和产品服务。微电子设备技术研究室是专业从事微电子装备技术研发的部门，拥有近30年的技术积累。研究室长期承担国家科技重大专项等科研项目,进行创新设备技术探索。
成套半导体装备事业部于1986年成功研发国内首台多功能磁增强反应离子刻蚀机，为“七五”国家重点科技攻关项目重要科研成果。1993年，ME-3A型多功能磁增强反应离子刻蚀机获中科院科学技术进步二等奖。1997年，在“八五”国家重点科技攻关项目的支持下，研制成功国内首台ICP刻蚀机，并于1998年，实现ICP-98A刻蚀机的首台销售。经过近三十年的发展，已成功研发多种型号的刻蚀机、溅射台和PECVD机。
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