德尔森是中国首家将 MEMS传感器芯片设计与生产、传感器封装与测试、传感器通讯与系统集成,这三道核心工艺集合在一起的企业。这样德尔森可从传感器芯片源头出发、为客户与合作伙伴,根据具体应用需求,量身定做定制化产品,共同提高产品在行业内的高度与更加优化的解决方案。
继MD系列后,超高温单晶硅表压、差压、绝压传感器芯片(HMD系列)实现全量程批量生产啦
半导体硅材料在150℃之上,其漏电流会指数级增大,从而导致其电特性无法实现规律变化,也正是因此超过150℃以上的硅材质MEMS传感器一直为行业中的难点。
德尔森公司采用将SOI(绝缘体硅薄膜)技术与MEMS技术巧妙结合的方式,有效的解决了高温下硅传感器的漏电流问题,传承上一代MD系列芯片的3D刻蚀结构,依然延续了其超高过压性能与高稳定性。
独特的PVD工艺,使传感器芯片在高温下依然拥有优异的静压特性与长期稳定性,使该传感器芯片完全具备军工品质的压力与差压测量。
德尔森HMD系列单晶硅传感器芯片的特性:
■ 标准量程
10kPa、40kPa、400kPa、4MPa、40MPa五个标准量程。
■ 优异的过压性能
10kPa芯片过压达2.5MPa(250倍过压)
40kPa芯片过压达4MPa(100倍过压)
■ 超宽温区工作温度:-196℃~350℃
■ 两种硅基厚度选择(1.0mm,2.5mm),满足多种应用。
■ 超高桥阻:30kΩ
30kΩ超高桥阻保证输出信号在超宽温区内的超高信噪比,同时微小的零点偏移,极佳温度特性。
HMD系列芯片的量产,填补了我国工业级MEMS高温区型单晶硅传感器芯片无法自主研发与制造的空白,解决了我国高端传感器芯片难点,打破了德美日垄断。共享技术,提升国际地位,德尔森使命所在!我等莘莘学子使命所在!
科技改变世界,追求不断卓越,德尔森,我们在路上!
图说智能化整理加工,原标题:热烈祝贺德尔森HMD系列超宽温区SOI单晶硅传感器芯片全量程批量生产啦!