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继MD系列后,德尔森超高温单晶硅表压、差压、绝压传感器芯片(HMD系列)实现全量程批量生产啦

来源:德尔森   2017-06-12 阅读:782
 德尔森是一家总部位于德国法兰克福、中国重庆、中国张家港的高新技术企业,致力于智能传感器研发、生产与服务。德尔森的主要产品是高端MEMS智能传感器,现拥有33项国内与国际专利,公司开发与批量生产的第五代高稳定性单晶硅MEMS传感器芯片,第六代超宽温区SOI传感器芯片,多项指标超过国际一流厂家,技术处于国际领先,也填补了我国工业级MEMS单晶硅传感器芯片无法自主研发与制造的空白。国产传感器仍以中低端为主,缺乏核心技术和基础能力,中高档传感器产品几乎100%从国外进口,90%芯片依赖国外,德尔森传感器的出现,打破了国外高端传感器的垄断。现产品已广泛应用于国内外多个领域:工业过程自动化、工厂与设备自动化、智能物联网环境监测、智能结构健康监测与诊断、智慧城市与智能建筑、船舶与航空等。
 德尔森是中国首家将 MEMS传感器芯片设计与生产、传感器封装与测试、传感器通讯与系统集成,这三道核心工艺集合在一起的企业。这样德尔森可从传感器芯片源头出发、为客户与合作伙伴,根据具体应用需求,量身定做定制化产品,共同提高产品在行业内的高度与更加优化的解决方案。
 
继MD系列后,超高温单晶硅表压、差压、绝压传感器芯片(HMD系列)实现全量程批量生产啦
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半导体硅材料在150℃之上,其漏电流会指数级增大,从而导致其电特性无法实现规律变化,也正是因此超过150℃以上的硅材质MEMS传感器一直为行业中的难点。
德尔森公司采用将SOI(绝缘体硅薄膜)技术与MEMS技术巧妙结合的方式,有效的解决了高温下硅传感器的漏电流问题,传承上一代MD系列芯片的3D刻蚀结构,依然延续了其超高过压性能与高稳定性。
独特的PVD工艺,使传感器芯片在高温下依然拥有优异的静压特性与长期稳定性,使该传感器芯片完全具备军工品质的压力与差压测量。
 
德尔森HMD系列单晶硅传感器芯片的特性:
 
■ 标准量程   
    10kPa、40kPa、400kPa、4MPa、40MPa五个标准量程。
 
■ 优异的过压性能
    10kPa芯片过压达2.5MPa(250倍过压)
    40kPa芯片过压达4MPa(100倍过压)
 
■ 超宽温区工作温度:-196℃~350℃
 
■ 两种硅基厚度选择(1.0mm,2.5mm),满足多种应用。
 
■ 超高桥阻:30kΩ    
    30kΩ超高桥阻保证输出信号在超宽温区内的超高信噪比,同时微小的零点偏移,极佳温度特性。    
 
HMD系列芯片的量产,填补了我国工业级MEMS高温区型单晶硅传感器芯片无法自主研发与制造的空白,解决了我国高端传感器芯片难点,打破了德美日垄断。共享技术,提升国际地位,德尔森使命所在!我等莘莘学子使命所在!
 
科技改变世界,追求不断卓越,德尔森,我们在路上! 

图说智能化整理加工,原标题:热烈祝贺德尔森HMD系列超宽温区SOI单晶硅传感器芯片全量程批量生产啦!

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