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密析尔Pura系列微量水分变送器应用于半导体制造等高端行业

来源:密析尔   2017-10-12 阅读:548

密析尔Pura系列微量水分变送器的研发对于高纯气体的应用是至关重要的,在高纯气体中即使微量的水分也被认为是一种污染物。

基于密析尔在陶瓷阻抗水分传感器测量领域的专业经验,Pura系列变送器能够测量-120~-40°C的露点温度或者1ppbv~126.71ppmv的水分含量。重点在于低湿测量的调教优化了该产品在某些应用中的表现,例如半导体制造过程中,为了满足质量的要求生产环境需要几乎完全没有水分。

与其他密析尔露点仪一样,Pura系列安装简单、操作方便。可选的显示单元造就了一个既高精度又高性价比的湿度计。对于Pura系列甚至密析尔仪表的其他传感器的更换,其日常维护也是相当简单的。同时,有效地提供终身保修服务,在保持过程运行的同时,传感器的更换允许用户确保其始终是精准的。

除了半导体制造外,Pura系列也被广泛应用于光纤生产,光学镀膜工艺和工业气体制造等领域。

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